CSD1 6-3. Chemical Epitaxy Techniques : CVD, CSD 본 글은 고려대학교 화공생명공학과 하정숙 교수님의 강의록을 참고하였으므로, 이를 상업적으로 이용하면 안되며, 글을 가져가실 때는 꼭 출처와 댓글을 남겨주시기 바랍니다. 3. Chemical Epitaxy Techniques chemical reaction을 활용한다. film을 구성하는 chemical reaction에 따라서 chemical precursor가 정해진다. CSD (Chemical Solution Deposition) (X) CVD (Chemical Vapor Deposition) 3-1) Chemical Vapor Deposition Carrier Gas ($H_2$) : molecule들이 무겁기 때문에 밀어주는 역할을 한다. 진공 chamber에서 일어난다. surface에서 che.. 2020. 6. 15. 이전 1 다음
