7-2. Catalysis and Etching : Wet Etching, Dry Etching, Plasma, Sputtering, chemical, Reactive-ion Etching
본 글은 고려대학교 화공생명공학과 하정숙 교수님의 강의록을 참고하였으므로, 이를 상업적으로 이용하면 안되며, 글을 가져가실 때는 꼭 출처와 댓글을 남겨주시기 바랍니다. 2. Etching Isotropic vs Anisotropic Etching Isotropic : 모든 방향에 따라 크기가 같은 것 Anisotropic : 방향에 따라 크기가 다른 것 위의 그림을 보면, Film 부분이 an 부분은 mask 방향 따라서 깎여있고, iso 부분은 mask가 있던 수평 수직 모든 방향에 대해서 깎여있다. Wet Etching Wet Etching : 특징 면에 따라서 etching 속도가 다르다. Isotropic하다. etchant molecule이 왔을 때, 반응할 수 있는 atom들이 많은가 적은가에..
2020. 6. 16.
7-1. Catalysis and Etching : Catalyst : 정의, 쓰임, 응용, 성분에 따른 기능, promotor, poison
본 글은 고려대학교 화공생명공학과 하정숙 교수님의 강의록을 참고하였으므로, 이를 상업적으로 이용하면 안되며, 글을 가져가실 때는 꼭 출처와 댓글을 남겨주시기 바랍니다. Complex Surface Reactions : Catalysis and Etching 보편화된 촉매들은 대부분 표면에서 일어난다. 또한 표면을 active하게 만들기 위해 Etching, 깎는 작업을 한다. 1. 촉매 (Catalyst) 정의 : 자기 자신은 변하지않고, $E_a$, Activation Energy를 줄여서 반응속도를 빠르게 하는 물체 Homo-Geneous : Catalyst와 Reagent가 같은 상에서 반응이 일어난다. ex) 전이 금속이온, 전이 metal complex, inorganic acid and bas..
2020. 6. 16.
