7-2. Catalysis and Etching : Wet Etching, Dry Etching, Plasma, Sputtering, chemical, Reactive-ion Etching
본 글은 고려대학교 화공생명공학과 하정숙 교수님의 강의록을 참고하였으므로, 이를 상업적으로 이용하면 안되며, 글을 가져가실 때는 꼭 출처와 댓글을 남겨주시기 바랍니다. 2. Etching Isotropic vs Anisotropic Etching Isotropic : 모든 방향에 따라 크기가 같은 것 Anisotropic : 방향에 따라 크기가 다른 것 위의 그림을 보면, Film 부분이 an 부분은 mask 방향 따라서 깎여있고, iso 부분은 mask가 있던 수평 수직 모든 방향에 대해서 깎여있다. Wet Etching Wet Etching : 특징 면에 따라서 etching 속도가 다르다. Isotropic하다. etchant molecule이 왔을 때, 반응할 수 있는 atom들이 많은가 적은가에..
2020. 6. 16.
