Epitaxy1 6-1. Film Deposition Methods : Epitaxy, Relaxed, Strained-layer 본 글은 고려대학교 화공생명공학과 하정숙 교수님의 강의록을 참고하였으므로, 이를 상업적으로 이용하면 안되며, 글을 가져가실 때는 꼭 출처와 댓글을 남겨주시기 바랍니다. Film Deposition Methods 다른 기판 위에 서로 다른 기능의 layer들을 쌓는 것을 말한다. 응용분야 : large-area를 optical coating을 한다. High-Temp superconductor Micro-nanoeletronics 1. Epitaxy microscopic processes in epitaxy Epitaxy : 기판 위에 symmetry를 유지한채로 박막 성장하는 것이 원래 정의, but 요즘은 그냥 기판 위에 박막이 형성되는 것을 지칭하기도 함. Homo-Epitaxy : Si 위에 Si .. 2020. 6. 15. 이전 1 다음
