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mambo's coding note346

7-1. Catalysis and Etching : Catalyst : 정의, 쓰임, 응용, 성분에 따른 기능, promotor, poison 본 글은 고려대학교 화공생명공학과 하정숙 교수님의 강의록을 참고하였으므로, 이를 상업적으로 이용하면 안되며, 글을 가져가실 때는 꼭 출처와 댓글을 남겨주시기 바랍니다. Complex Surface Reactions : Catalysis and Etching 보편화된 촉매들은 대부분 표면에서 일어난다. 또한 표면을 active하게 만들기 위해 Etching, 깎는 작업을 한다. 1. 촉매 (Catalyst) 정의 : 자기 자신은 변하지않고, $E_a$, Activation Energy를 줄여서 반응속도를 빠르게 하는 물체 Homo-Geneous : Catalyst와 Reagent가 같은 상에서 반응이 일어난다. ex) 전이 금속이온, 전이 metal complex, inorganic acid and bas.. 2020. 6. 16.
6-3. Chemical Epitaxy Techniques : CVD, CSD 본 글은 고려대학교 화공생명공학과 하정숙 교수님의 강의록을 참고하였으므로, 이를 상업적으로 이용하면 안되며, 글을 가져가실 때는 꼭 출처와 댓글을 남겨주시기 바랍니다. 3. Chemical Epitaxy Techniques chemical reaction을 활용한다. film을 구성하는 chemical reaction에 따라서 chemical precursor가 정해진다. CSD (Chemical Solution Deposition) (X) CVD (Chemical Vapor Deposition) 3-1) Chemical Vapor Deposition Carrier Gas ($H_2$) : molecule들이 무겁기 때문에 밀어주는 역할을 한다. 진공 chamber에서 일어난다. surface에서 che.. 2020. 6. 15.
6-2. Physical Epitaxy Techniques : Vapor, MBE, PLD, Sputter (DC, Magnetron, RF) 본 글은 고려대학교 화공생명공학과 하정숙 교수님의 강의록을 참고하였으므로, 이를 상업적으로 이용하면 안되며, 글을 가져가실 때는 꼭 출처와 댓글을 남겨주시기 바랍니다. 1. Introduction (Epitaxy) mechanism : 증착시키는 물질들을 어떻게 만들어내느냐에 따라 다르다. 속도 : MBE가 증착시키는 속도가 굉장히 빠르다. 물질 : 증착되는 물질은 Physical 에서는 Atom, Ion, PLD는 plasma 때문에 cluster도 있다. chemical에서는 아무래도 chemical reaction이 일어나기 때문에, chemisorption이 되기 전 단계인 precursor 단계에서 atom으로 분해되는 과정에서의 입자들이 증착될 것이다. Throwing Power : 주어진 위.. 2020. 6. 15.
6-1. Film Deposition Methods : Epitaxy, Relaxed, Strained-layer 본 글은 고려대학교 화공생명공학과 하정숙 교수님의 강의록을 참고하였으므로, 이를 상업적으로 이용하면 안되며, 글을 가져가실 때는 꼭 출처와 댓글을 남겨주시기 바랍니다. Film Deposition Methods 다른 기판 위에 서로 다른 기능의 layer들을 쌓는 것을 말한다. 응용분야 : large-area를 optical coating을 한다. High-Temp superconductor Micro-nanoeletronics 1. Epitaxy microscopic processes in epitaxy Epitaxy : 기판 위에 symmetry를 유지한채로 박막 성장하는 것이 원래 정의, but 요즘은 그냥 기판 위에 박막이 형성되는 것을 지칭하기도 함. Homo-Epitaxy : Si 위에 Si .. 2020. 6. 15.
Surface Chemistry : Photolithography https://blog.naver.com/PostView.nhn?blogId=soomin916&logNo=220366734740 2. 포토리소그래피 (Photolithography) 2. 포토리소그래피 (Photolithography) (1) 포토리소그래피란?마스크(Mask) 상에 설계된 패턴을 웨이퍼 ... blog.naver.com 2020. 6. 15.
Surface Chemistry : 참고 자료 http://blog.naver.com/PostView.nhn?blogId=youngdisplay&logNo=221078832830&categoryNo=0&parentCategoryNo=11&viewDate=¤tPage=1&postListTopCurrentPage=1&from=postView 웨이퍼는 왜 둥근 모양일까? 모래에서 웨이퍼까지! 실리콘의 변신! 늦은 밤 방송이 종료되고 흐르는애국가를 들은 기억이 있으신가요? 애국가는 우리나라를 대표하는 영상들과... blog.naver.com 2020. 6. 15.
3-3. Surface Crystallography : Notation, Wood, Matrix, LEED 본 글은 고려대학교 화공생명공학과 하정숙 교수님의 강의록을 참고하였으므로, 이를 상업적으로 이용하면 안되며, 글을 가져가실 때는 꼭 출처와 댓글을 남겨주시기 바랍니다. 1-3) Surface Crystallography : Notation of Surface Structure surface에 이미 adsorb 되어있을 때, surface 구조를 substrate 기판의 unit cell을 기반으로 2가지 표현법을 사용한다. Wood Notation Matrix Notation Wood Notation substrate unit cell : $a$, $b$ surface unit cell : $a_s$, $b_s$ 목표 : 원래 a,b 크기를 가지는 unit cell이 있는데, surface에 흡착된 것을.. 2020. 6. 14.
3-2. Diffraction : 회절을 이용해서 surface를 구분, Bragg, 역공간 본 글은 고려대학교 화공생명공학과 하정숙 교수님의 강의록을 참고하였으므로, 이를 상업적으로 이용하면 안되며, 글을 가져가실 때는 꼭 출처와 댓글을 남겨주시기 바랍니다. Diffraction : 회절을 이용해서 surface를 구분 1-2) 두 개의 파동의 interference, 간섭 파동의 간섭을 이용하면 surface 간의 간격을 관찰할 수 있다. 위 사진은 파동의 간섭현상을 보여준다. 증폭되는 보강간섭, 축소되는 상쇄간섭이 있다. 파장대가 여럿 섞여있는 빛을 쬐어주면, 회절의 차이로 표면을 파악할 수 있다. Bragg's Law Path Difference : AB + BC = $2dsinΘ$, $Θ$ = 빛의 입사각 만약 보강간섭이 생긴다면 Path Difference = $nλ$, (만약 처음 .. 2020. 6. 14.
3-1. Stucture of Surfaces 본 글은 고려대학교 화공생명공학과 하정숙 교수님의 강의록을 참고하였으므로, 이를 상업적으로 이용하면 안되며, 글을 가져가실 때는 꼭 출처와 댓글을 남겨주시기 바랍니다. 앞서 2단원에서는 표면에서 어떠한 반응들이 일어나는지를 보았다. 그리고 표면의 lattice point에 따라서 상이한 반응들이 일어난다. 2020/06/13 - [chemistry/surface chemistry] - 2-1. Structure : Crystal, Lattice, Miller indices 2-1. Structure : Crystal, Lattice, Miller indices 본 글은 고려대학교 화공생명공학과 하정숙 교수님의 강의록을 참고하였으므로, 이를 상업적으로 이용하면 안되며, 글을 가져가실 때는 꼭 출처와 댓글을.. 2020. 6. 14.
2-3. Metal interface(계면)에서 Energy Level : junction, Debye formula, Heat Capacity 본 글은 고려대학교 화공생명공학과 하정숙 교수님의 강의록을 참고하였으므로, 이를 상업적으로 이용하면 안되며, 글을 가져가실 때는 꼭 출처와 댓글을 남겨주시기 바랍니다. 5. Metal interface(계면)에서 Energy Level 결론 Interface : 2개의 서로 다른 metal을 붙였을 때, 두 물질 사이의 경계를 말한다. 평형이 이루어질때 chemical potential은 두 개의 물질 사이로 균등하게 맞춰진다. Fermi Level이 서로 맞춰진다. 과정 두 개의 metal이 연결이 된다면, Fermi Level이 맞아질 때 까지 전자 흐름은 low work-function → high work function으로 향한다. work function : Fermi Level의 전자를 떼어.. 2020. 6. 14.
5-6. Adsorption's dynamics : Direct, precursor-mediated 본 글은 고려대학교 화공생명공학과 하정숙 교수님의 강의록을 참고하였으므로, 이를 상업적으로 이용하면 안되며, 글을 가져가실 때는 꼭 출처와 댓글을 남겨주시기 바랍니다. 5.6 Direct and precursor-mediated adsorption (Dynamics) Adsorption mechanism은 5가지 조건에 따라 달라진다. 1) molecule and surface의 chemical identity 2) co-adsorbates 다른 흡착된 molecule과의 관계 3) crystallographic plane, 결정면과의 관계 4) surface temperature 5) molecular energy 또한 이 포스팅에서는 Adsorption이 어떤 dynamics로 이루어지는지 2가지 경.. 2020. 6. 13.
5-5. Atoms molecules incident on a surface : Scattering Channels 본 글은 고려대학교 화공생명공학과 하정숙 교수님의 강의록을 참고하였으므로, 이를 상업적으로 이용하면 안되며, 글을 가져가실 때는 꼭 출처와 댓글을 남겨주시기 바랍니다. 5.5 Atoms molecules incident on a surface Adsorption and desorption은 어디서나 일어날 수 있는 suface 반응이다. 따라서 우리는 어떻게 molecule들이 접근하는지, 또한 어떻게 molecule들이 흡착된 상태로 되는지 를 봐야한다. 그러기위해서 scattering channel을 이용한다. 1. Scattering Channels Elastic Scattering angle : same special case elastic scattering : diffraction Direct.. 2020. 6. 13.